User's Manual

TABLE OF CONTENTS
vi KLA-Tencor Confidential - Restricted Distribution KT Automation User Guide
PRELIMINARY
. 3.KT Automation Web UI
3.1 Logging In . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-11
3.2 Logging Out. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-11
3.3 KT Automation Home Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-12
3.3.1 Equipment Coverage and Usage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-13
3.3.2 Tool Mission Alarms . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-14
3.3.3 Connected FOUPs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-15
3.4 Tools Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-16
3.5 Setup Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-17
3.5.1 Edit or Add Tool. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-17
3.5.2 Edit or Add Tool Type . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-18
3.5.3 Edit or Add Handler Type . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-23
3.5.4 Edit or Add Wafer Sequence . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-24
3.6 History Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-25
3.7 Administration Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-25
3.8 Automation Metrology Wafer Functions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3-26
3.8.1 Edit or Add an Automation Metrology Wafer Mission Recipe . . . . . . . .3-26
3.8.2 Define and Execute an Automation Metrology Wafer User Mission. . . .3-29
Glossary
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