User's Manual

Reference Information A-5
Table 4. 300mm Integral Wafer Sensor Positions
Sensor Radius
(mm)
Theta Sensor Radius
(mm)
Theta
A01 0 0 E34 110 270
B02 9 135 E35 110 292.5
B03 9 225 E36 110 315
B04 9 315 E37 110 337.5
B05 9 45 E38 110 0
C06 37 90 E39 110 22.5
C07 37 180 E40 110 45
C08 37 270 E41 110 67.5
C09 37 0 F42 147 90
D10 74 90 F43 147 105
D11 74 112.5 F44 147 120
D12 74 135 F45 147 135
D13 74 157.5 F46 147 150
D14 74 180 F47 147 165
D15 74 202.5 F48 147 180
D16 74 225 F49 147 195
D17 74 247.5 F50 147 210
D18 74 270 F51 147 225
D19 74 292.5 F52 147 240
D20 74 315 F53 147 255
D21 74 337.5 F54 147 270
D22 74 0 F55 147 285
D23 74 22.5 F56 147 300
D24 74 45 F57 147 315
D25 74 67.5 F58 147 330
E26 110 90 F59 147 345
E27 110 112.5 F60 147 0
E28 110 135 F61 147 15
E29 110 157.5 F62 147 30
E30 110 180 F63 147 45
E31 110 202.5 F64 147 60
E32 110 225 F65 147 75
E33 110 247.5
Non-contact Integral Wafer User Manual