User's Guide

KTDC-1704813293-501 KLA-Confidential i
Table of Contents
Preface . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3
Manual Purpose . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
Manual Structure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3
Reference Documentation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
Conventions Used in this Manual. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4
1 Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5
1.1 KLA Automation System Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.2 KLA Automation System Operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6
1.3 KLA Automation Missions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
1.4 Regulatory Compliance Statements. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
1.4.1 Prohibitions on Modifications . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
1.4.2 Class A Digital Device . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
1.4.3 Special Accessory Installation: Manual Use Laptop/FOUP cable. . . 8
1.4.4 Singapore Regulatory Statement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
1.4.5 Israel Regulatory Statement. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
1.4.6 Input Power for Battery Charging . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
1.4.7 Environmental conditions for the equipment . . . . . . . . . . . . . . 10
1.4.8 Critical component list. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
2 KLA Automation System Hardware Components . . . . . . . . . . . . . .11
2.1 KLA Automation Station. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
2.1.1 KLA Automation Station Function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
2.1.2 KLA Automation Station Indicator Panel LEDs. . . . . . . . . . . . . . 12
2.1.3 KLA Automation Station Indicator Panel Manual/Auto Button . . . 13
2.2 KLA Automation FOUP . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
2.2.1 KLA Automation FOUP Function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
2.2.2 KLA Automation FOUP Indicators and Controls . . . . . . . . . . . . . 14
2.2.3 KLA Automation FOUP Data Storage and Transfer . . . . . . . . . . . 15
2.2.4 KLA Automation FOUP Battery . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
2.2.5 Option: Emulating Occupied KLA Automation FOUP Slots. . . . . . 16
2.2.6 Reset the KLA Automation FOUP (software restart). . . . . . . . . . 16
3 KLA AM Station Application UI . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .19
3.1 Access to UI. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
3.2 Features in the Application. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
3.2.1 Home Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
3.2.2 Test. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
3.2.3 Configuration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
3.2.4 Diagnostics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 36