User's Guide

ii KLA-Confidential KLA Automation User Guide
3.2.5 FA UI (Factory Automation User Interface). . . . . . . . . . . . . . . . 37
3.2.6 Maintenance. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 42
3.3 Software Upgrade for FOUP and Wafer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46
3.3.1 To Upgrade FOUP . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48
3.3.2 To Upgrade Wafer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49
4 KLA Automation Web UI . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .51
4.1 Logging In . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51
4.2 Logging Out . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51
4.3 KLA Automation Home Page. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52
4.3.1 Equipment Coverage and Usage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52
4.3.2 Tool Mission Alarms. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56
4.3.3 Connected FOUPs . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57
4.4 Tools Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58
4.5 Setup Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 59
4.5.1 Edit or Add Tool . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 59
4.5.2 Edit or Add Tool Type. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
4.5.3 Edit or Add Handler Type . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65
4.5.4 Edit or Add Wafer Sequence. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66
4.6 User Mission page. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 67
4.6.1 To Execute Tool Mission . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68
4.6.2 To Execute OHT mission . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 70
4.6.3 To Execute ToolOHT Mission . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71
4.7 History Page. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 74
4.8 Administration Page . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 74
4.8.1 KLAStations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 75
4.8.2 Wafers. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 75
4.8.3 FOUPS. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 76
4.8.4 Data Maintenance. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 77
4.9 Analysis. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 79
4.9.1 Baseline. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 79
4.9.2 Results . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85
4.9.3 BaselineView . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 88
4.9.4 Tool Qualification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 89
4.9.5 OHT Analysis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 91
4.10 Diagnostics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 94
4.10.1 Ports . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 95
4.10.2 System Communication. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .101
4.11 Automation Metrology Wafer Functions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .104
4.11.1 To Add Tool Recipe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .104
4.11.2 To Add OHT Recipe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .107
4.11.3 To add ToolOHT Recipe . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .109
4.11.4 Edit or Add an Automation Metrology Wafer Mission Recipe . . . .111
Glossary. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .113
Revision History . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .115