Datasheet

Auswahlbeispiel für Vakuumausrüstung
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Modellauswahl
 Transfer von Halbleiterchips
Auswahlbedingungen:
(1) Werkstück: Halbleiterchips
Abmessungen: 8 mm x 8 mm x 1 mm, Gewicht: 1 g
(2) Länge der Vakuumleitung: 1 m
(3) Ansaug-Ansprechzeit: max. 300 ms
1. Vakuumsauger-Auswahl
(1) Basierend auf der Werkstückgröße ist der Saugerdurchmesser 4 mm (1 Stk.).
(2) Bestätigen Sie unter Verwendung der Formel in der Einleitung, Seite 13, die Hebekraft.
W = P x S x 0.1 x 1/t W = 1 g = 0.0098 N
0.0098 = P x 0.13 x 0.1 x 1/4 S = π/4 x (0.4)
2
= 0.13 cm
2
P = 3.0 kPa t = 4 (horizontales Heben)
Die Berechnung ergibt, dass das Werkstück mit einem Vakuum von min. –3.0 kPa angesaugt werden kann.
(3) Wählen Sie basierend auf der Form und der Art des Werkstücks Folgendes aus:
Saugerart: Flach
Saugermaterial: Silikon
(4)
Aus den obigen Ergebnissen ergibt sich, dass der Vakuumsauger mit der Bestell-Nr ZPT04US-  empfohlen wird.
(Spezifikation des Vakuumanschlusses () des Saugermontage-Status.)
2. Auswahl des Vakuumerzeugers
(1) Ermitteln Sie die Kapazität der Vakuumleitung.
Gegeben ist ein Leitungsinnendurchmesser von 2 mm, so dass sich folgende Leitungskapazität ergibt:
V =π/4 x D
2
x L x 1/1000 = π/4 x 2
2
x 1 x 1/1000
= 0.0031 L
(2) Gegeben ist eine Leckage (Q
L) beim Ansaugen von 0 L / min. Ermitteln Sie auf dieser Grundlage die durchschnittliche
Ansaugleistung, mit der die Ansaug-Ansprechzeit erfüllt wird, unter Verwendung der Formel in der Einleitung, Seite 17.
Q = (V x 60) /T
1 + QL = (0.0031 x 60) /0.3 + 0 = 0.62 L
Unter Anwendung der Formel in der Einleitung, Seite 17, ergibt sich eine max. Ansaugleistung Q
max. von
Q
max. = (2 bis 3) x Q = (2 bis 3) x 0.62
= 1.24 bis 1.86
L/min (ANR)
Unter Berücksichtigung der max. Ansaugleistung des Vakuumerzeugers kann eine Düse mit einem Durchmesser von
0.5 verwendet werden.
Bei Verwendung der Vakuumerzeugerserie ZX kann das voreingestellte Modell ZX105
 ausgewählt werden.
(Spezifizieren Sie auf der Grundlage der Betriebsbedingungen die vollständige Bestell-Nr. des verwendeten
Vakuumerzeugers.)
3. Bestätigung der Ansaug-Ansprechzeit
Bestätigen Sie die Ansaug-Ansprechzeit auf der Grundlage der Kennlinien des gewählten Vakuumerzeugers.
(1) Die max. Ansaugleistung des Vakuumerzeugers ZX105
 beträgt 5 L/min. Auf der Grundlage der Formel in der
Einleitung, Seite 18,
ist die durchschnittliche Ansaugleistung Q
1 wie folgt:
Q
1 = (1/2 bis 1/3) x max. Ansaugleistung des Vakuumerzeugers
(1/2 bis 1/3) x 5 = 2.5 bis 1.7
L/min
(2)
Ermitteln Sie im nächsten Schritt den max. Durchfluss Q 2 der Leitung. Der Leitwert C beträgt 0.22 im Auswahldiagramm (3).
Unter Anwendung der Formel in der Einleitung, Seite 18, ergibt sich der folgende max. Durchfluss:
Q
2 = 5 x C x 11.1 = 5 x 0.22 x 11.1 = 12.2 L/min
(3) Da Q
2 kleiner ist als Q1, Q = Q1.
Somit ergibt sich unter Anwendung der Formel in der Einleitung, Seite 18, die folgende Ansaug-Ansprechzeit:
T = (V x 60)/Q = (0.0031 x 60)/1.7 = 0.109 s
= 109 ms
Es kann bestätigt werden, dass das Berechnungsergebnis die erforderliche Spezifikation von 300 ms erfüllt.
Einleitung 24